技术参数：
流量规格：0~330sccm(mL/min)
准确度：±0.2%F.S
线性度：±0.1%F.S.
重复精度：±0.1%F.S.
工作压差：0~0.6MPa
耐压：1MPa
环境温度：0~65℃
电气连接：DB9
输出信号：模拟、RS232、RS485、CAN
电源：15~40VDC
标准气路接头：M8*1
气路管径：3.2mm（外径）
可以测量的气体类别：Ar、N2 、O2、Air 、NO、CO、CH4、NH3 、N2O 、NO2 、CO2
产品特性：
1.无可动部件
2.支持多种通讯协议
3.容易安装及维护
4.高精度、高稳定性、极低的零漂
5.可控多种气体
应用领域：
－分析仪器－干刻（RIE/DRIE）
－生物技术－气相色谱分析
－激光焊机－过程自动化
－真空镀膜－燃料电池
安装尺寸：
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