技术参数：
流量规格：0~330sccm(mL/MIN)
准确度：±0.2%F.S可以测量的气体类别：Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2
PIN脚定义：
PIN1：GND
PIN2：RX/A
PIN5：VCC
PIN6：DGND
PIN7：CANL
PIN8：CANH
PIN9：TX/B
气路连接：
输入端：使用外径3.2的聚四氟管套上气路接头和硅胶卡套，保证气密，如下图：
聚四氟管另一端可以直接用同样的方式接入到被测气路上，或是利用硅胶软管套接至不同管径的气路管线上，如下图：
输出端：可以什么都不接或是接一根10mm长的聚四氟管，接法同上。
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